Setra 217 型壓力變送器專為模塊式“Block”氣體棒和面板設(shè)計(jì),非常適合惡劣環(huán)境(例如冷氣流導(dǎo)致的溫度瞬變)下的壓力測量應(yīng)用。
217 型壓力變送器可選帶C 型或W 型密封的朝下安裝的壓力端口,帶有易于吹掃的小型傳感器腔室。所有接液部件均采用VIM/VAR 316L不銹鋼制造,且表面鈍化拋光至5 Ra( 最大7 Ra),確保表面平整且耐化學(xué)腐蝕,實(shí)現(xiàn)無污染氣體輸送。每個(gè)傳感器都采用質(zhì)譜儀進(jìn)行了1 x 10-9 ATM.CC/sec 級(jí)別的氦滲漏試驗(yàn)。
Setra 所有的超高純系列產(chǎn)品都基于Setra 成熟的電容傳感技術(shù)制造,能提供幾乎不受EMI/RFI 干擾的高精度、穩(wěn)定的電壓或電流輸出信號(hào)。
■ 泄露率低
■ VCR 接頭
■ 易于吹掃的小腔室
■ 200PSI/250PSI/3000PSI
特性
·316 L VIM/VAR 不銹鋼
·表面拋光度7 Ra
·VCR 接頭
·1×10-9 ATM.CC/sec 級(jí)別的氨滲漏實(shí)驗(yàn)
·出色的穩(wěn)定性,避免停機(jī)
·可選帶C 型或W 型密封的壓力端口
·抗電磁干擾/ 射頻干擾,可防止誤停機(jī)
·易于吹掃
·符合CE 和RoHS 標(biāo)準(zhǔn)要求
應(yīng)用
·模塊式“Block”氣體棒和面板
·高純度氣體輸送系統(tǒng)
·半導(dǎo)體過程工具
性能參數(shù)
物理參數(shù)
精度RSS(恒溫下)
±0.25%FS或±1.0%讀數(shù)
殼體
不銹鋼
非線性(最佳擬合直線)
±0.15%FS
電氣連接
6英尺多芯電纜、卡口或D-SUB接頭
遲滯
0.20%FS
壓力接口
朝下安裝的C型或W型密封
非重復(fù)性
0.02%FS
通氣
零點(diǎn)盒滿量程處的檢修孔
電氣參數(shù)(電流)
重量
約184g
電路
2線
電氣參數(shù)(電壓)
輸出6
4~20mA2
電路
3線(COM,OUT,EXC)
外部負(fù)載
0~800Ω
輸出4
0~5VDC或0.2~5.2VDC5
0~10VDC或0.2~10.2VDC5
最小供電電壓(VDC)
10+0.02x(接收器附加導(dǎo)線電阻)
激勵(lì)
5VFSO(滿量程輸出)時(shí)為10~30VDC
10VFSO(滿量程輸出)時(shí)為13~30VDC
最大供電電壓(VDC)
30+0.004X(接收器附加導(dǎo)線電阻)
電流消耗
<8mA
溫度影響2
環(huán)境參數(shù)
壓力介質(zhì)
溫度補(bǔ)償范圍
-9~65℃
工作溫度3
-40℃~+85℃
與316L不銹鋼兼容的氣體或液體的
零點(diǎn)/滿程漂移
1.8%(%FS/50℃)
存放溫度
-40℃~+85℃
1. 非線性、遲滯、非重復(fù)性的方和根
2. 產(chǎn)品在21℃進(jìn)行標(biāo)定,最大溫度影響誤差由此數(shù)據(jù)得來
3. 僅限電子元件的工作溫度限制,壓力介質(zhì)的溫度可能明顯較高或較低
4. 采用50KΩ負(fù)載進(jìn)行標(biāo)定,可在負(fù)載≥5K時(shí)工作
5. 零點(diǎn)(滿量程)輸出:對(duì)于5VDC輸出,出廠設(shè)置在±25mA以內(nèi);對(duì)于10VDC輸出,出廠設(shè)置在±50mV以內(nèi)
6. 出廠標(biāo)定時(shí)采用250Ω負(fù)載,負(fù)載24VDC電源
零點(diǎn)(滿量程)輸出:出廠設(shè)置在±0.08mA以內(nèi)