光譜范圍從FUV到NIR：190-2100nm

UVISEL Plus橢圓偏振光譜儀為薄膜、表面和界面表征提供了模塊化和性能的優(yōu)化組合。

UVISEL Plus作為一款準(zhǔn)確性、靈敏度、穩(wěn)定性的經(jīng)典橢偏機(jī)型，它采用了PEM 相位調(diào)制技術(shù)，與機(jī)械旋轉(zhuǎn)部件技術(shù)相比， 能提供更好的穩(wěn)定性和信噪比。光譜范圍從190nm到2100nm。

UVISEL Plus集成了新的FastAcqTM快速采集技術(shù)，可在3分鐘以?xún)?nèi)實(shí)現(xiàn)高分辨的樣品測(cè)試（190-2100 nm），校準(zhǔn)僅需幾分鐘?；谛碌碾娮釉O(shè)備，數(shù)據(jù)處理和高速單色儀，F(xiàn)astAcq技術(shù)能夠?yàn)橛脩?hù)提供高分辨及快速的數(shù)據(jù)采集。FastAcq為薄膜表征設(shè)計(jì)，雙調(diào)制技術(shù)可以確保您獲得優(yōu)異的測(cè)試結(jié)果。

相位調(diào)制技術(shù)的特點(diǎn)為高頻調(diào)制 50 kHz，信號(hào)采集過(guò)程無(wú)移動(dòng)部件：

• 測(cè)試全范圍的橢偏角，Ψ (0-90)，Δ (0-360)
• 從FUV到NIR具有優(yōu)良的信噪比
• 數(shù)據(jù)采集速度快，達(dá)50毫秒/點(diǎn)，是動(dòng)力學(xué)研究和在線測(cè)量的理想選擇

相比于采用 旋轉(zhuǎn)元件調(diào)制的傳統(tǒng)橢圓偏振光譜儀，UVISEL Plus的相位調(diào)制模式在表征薄膜方面具有更高的靈敏度和精度。它不僅可以探測(cè)到其他橢偏儀無(wú)法觀測(cè)到的極薄膜或界面，還可以表征50μm的厚膜。

在測(cè)試有背反射的透明樣品時(shí)，測(cè)試簡(jiǎn)單、準(zhǔn)確，無(wú)需刮花背面。

UVISEL Plus還設(shè)計(jì)有多種附件及可選功能，便于客戶(hù)根據(jù)應(yīng)用需求及預(yù)算選擇合適的配置。比如，微光斑用于圖案樣品、自動(dòng)變角器、自動(dòng)樣品臺(tái)等。

UVISEL Plus采用模塊化設(shè)計(jì)，可靈活擴(kuò)展。即可用于離線臺(tái)式測(cè)量，也可以耦合于鍍膜設(shè)備做在線監(jiān)控。

UVISEL Plus可根據(jù)習(xí)慣選擇操作界面，一個(gè)是 DeltaPsi2  具有建模和擬合處理功能；另一個(gè)是 Auto-Soft 用戶(hù)導(dǎo)向的全自動(dòng)樣品測(cè)試界面 ，工作流程直觀，易于非專(zhuān)業(yè)人士操作。

UVISEL Plus搭載FastAcq技術(shù)是材料研究和加工、平板顯示、微電子和光伏領(lǐng)域中優(yōu)選通用光譜型橢偏儀。

UVISEL Plus是材料科學(xué)研究的理想工具。